典型的三坐标测量仪探测系统包含四部分：测头，测头扩展部，探针调整或扩展部，探针。
1、测头
可用的测头类型包括铰接，非铰接以及手动或机动。手动铰接测头需要使用者的干预，这样需要在结合点处暂停部件程序，进而会增加计算机直接控制的测量时间，并影响测量的精确度。测头的选择应该考虑目标精确度。
2、测头扩展部
测头扩展部的选择取决于所需要的测量类型，测量精度，所使用的探针的质量和长度和探针连接部位的刚度。测头扩展部位于测头和接触触发器之间。
3、探针扩展选择
探针扩展和适配器可以使测量帮助测头探测难以到达的地方。所用的部件包括转向节，五路探针中心，简单扩展以及可以允许探针连接不同螺纹尺寸的M3/M2和M5/M4适配器。必须注意的是如果所使用的探针比螺纹尺寸小会导致探针的刚度不足降低测量精度。使用比测头螺纹尺寸大的探针容易引起触头的错误触发。
4、探针的选择
对于探针的选择主要需要考虑两点，即满足探针接触的要求，对于工件上所有点的测量没有干涉，在接触点保持可重复性。
