为使三坐标测量仪的空气轴承和空气弹簧装置正常工作，气源的压力要在规定的范围内。
失压将导致气垫与导轨表面的机构接触，这意味着摩擦、滞后与磨损。为免于此，在这种情况下机器的驱动应自动地断开，另一方面，压力太高会使轴承的振动加剧。压力的选择取决于三坐标测量仪的设计参数。
当气压太低时，空气弹簧减振器下落形成接触，它们的阻尼特性被破坏，当气压太高时，在沉重的桥框或工作台位移激励下，整个机器可能处于颠簸运动中。
水、油及钢管锈蚀产生的尘粒，对空气轴承和空气弹簧隔震器的性能有损害作用，需要定期维护过滤器和隔离器，将尘粒从压缩空气中消除。
送入三坐标测量仪的压缩空气温度，与在三坐标测量仪气垫处由于空气扩张而产生的冷却作用，都对三坐标测量仪温度有影响，而常被人们忽略。要注意它们的影响。其影响与三坐标测量仪的空气用量有关。
