由于自然空气是不纯净的，不但含有一定量的水分，同时还含有大量的灰尘等杂质，在这些杂质伴随空气进入到空气压缩机中时，这些杂质又会和压缩机中的油雾颗粒一同被带入压缩空气中。这些杂质如不经过处理，对于三坐标测量仪的使用及性能是非常有害的，主要表现如下两个方面：
（1）油和水的影响
空气压缩机中的油雾和空气中的水分在高压的作用下被压缩成一体，这些没有经过过滤的空气杂质进入三坐标测量仪的气路中后，会严重腐蚀气路的管道，而在配管中生成另外的杂质（如锈蚀）又将直接影响导轨系统，导致测量结果不准确，甚至影响三坐标测量仪的寿命。
（2）空气杂质的影响
未经过过滤的压缩空气中，存在大量的杂质颗粒，这些颗粒主要成分是粉尘颗粒，直径大小在几个到几十个微米，和空气中的水分一同进入压缩机后，在压缩机的作用下，会形成一些直径更大的杂物，如果这种杂物没有过滤而直接进入三坐标测量仪中使用，可能会严重的威胁到三坐标测量仪的使用寿命，严重的情况下，可能导致三坐标测量仪损坏。
