三坐标测量机的精度，实际上应该区别为测量机的机器精度和测量机的测量精度。机器精度即测量头中心在测量空间内任意位置的位置精度，它包含测量方法、测量头、工作状态及温度影响等因素。对于三坐标测量机的精度评定包括如下内容：
1、高精度
三坐标测量机的单轴示值精度，在1m测量范围内其误差值小于±5μm。
2、中等精度
单轴示值精度在1m的测量范围内，其误差值在±5~±15μm之间。
3、低精度
单轴示值精度在1m内，其误差值大于±15μm。
西安爱德华测量设备股份有限公司生产的三坐标测量机覆盖高、中、低三个级别，三坐标测量机的精度与工作效率和测头密切相关，没有先进的测头，就无法发挥测量机的功能。测量头即精密位移传感器，分机械接触式测头和光学非接触式测头，一般采用接触式测头，便于标注测量位置。它的应用除三维叶片型线检测外，还可用于划线、打冲眼、钻孔等，在中等精度以上的三坐标测量机上亦可用于电机部件形位公差、装配等精度要求高的工作。光学非接触式测头对于测量较软、薄、脆、易变形的工件具有独到的优点。