三坐标测量仪是通过XYZ三个轴测量各种零部件及总成的各个点和元素的空间坐标，来评价长度、直径、形状误差、位置误差的一种测量设备。配备了高精度的导轨、测头和控制系统，并使用计算机程序来自动控制检测流程，计算输出测量结果。
三坐标测量仪又可定义“一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传递讯号，三个轴的位移测量系统（如光栅尺）经数据处理器或计算机等计算出工件的各点（x，y，z）及各项功能测量的仪器”。三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度、定位精度、几何精度及轮廓精度等。
三坐标测量仪对被测体没什么特殊要求,要根据被测物体选择不同的测头及测针。
三坐标测量仪作为当今工业测量领域中应用是非常广泛的，目前已广泛应用于汽车工业，航空航天工业，机床工具，国防军工，电子和模具等领域。
